采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制得氮化硅和氢化非晶硅薄膜,对PECVD设备中基板支撑梢区域的膜质进行了研究.结果显示基板支撑梢对氮化硅薄膜的影响是:基板支撑梢区域的膜厚(沉积速率)高于非基板支撑梢区域,氢含量及[SiH/NH]值高于非基板支撑梢;对氢化非晶硅薄膜的影响是:基板支撑梢区域的膜厚(沉积速率)小于非基板支撑梢区域,氢含量高于非基板支撑梢.并对成膜影响的机理进行了分析讨论.
参考文献
[1] | 谢振宇,龙春平,邓朝勇,等.非晶硅TFT栅界面层氮化硅薄膜性能的研究[J].真空科学与技术学报,2007,27(4):341-345. |
[2] | Kessels W M M,Van Assche F J H,Van den Oever P J,et al.The growth kinetics of silicon nitride deposited from the SiH4-N2 reactant mixture in a remote plasma[J].Non-crystalline Solides,2004,338-340:37-41. |
[3] | 马康,王海燕,吴芳,等.PECVD低温制备微晶硅薄膜的研究[J].人工晶体学报,2008.37(1):97-101. |
[4] | Bustarret E,Bemouda M,Habrard M C,et al.Configurational stratistics in a-SixNyHz alloys:a quantitative bonding analysis[J].Physical Review B,1998,38(12):8171-8184. |
[5] | 石霞,孙俊峰,顾晓春.SiNx介质薄膜内应力的实验研究[J].半导体技术,2007,32(10):851-853. |
[6] | 宋江婷.氮化硅薄膜的制备工艺优化和光学性质的研究[D].泉州:华侨大学硕士毕业论文,2010. |
[7] | 吴清鑫,陈光红.PECVD法生长氮化硅工艺的研究[J].功能材料,2007,5(38):703-705. |
[8] | 王颖,申德振,张吉英,等.退火对富硅氮化硅薄膜的结构和发光的影响[J].液晶与显示,2005,20(1):18 21. |
[9] | 王慧芳.PECVD法沉积掺杂非晶硅薄膜及其场致诱导晶化研究[D]武汉:武汉理工大学硕士毕业论文,2010. |
[10] | 李牧菊,杨柏梁,朱永福,等.氢化非晶硅的红外光谱及氢释放的研究[J].液晶与显示,1999,14(3):193-198. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分:
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%