研究了TFT-LCD制造工艺中产生Zara Particle的影响因素.采用Mac/Mic,SEM,EDX等检测设备,对Zara点状不良进行了大量的实验测试、数据分析和理论研究工作,对其产生的原因提出了两种不同的理论观点.通过调整聚酰亚胺薄膜厚度和摩擦工艺参数等一系列措施,产品质量得到了很大的提高,Zara点状不良从改善前的21.2％降低到1.69％,大大提高了产品良率,为以后相关问题的研究奠定了一些理论基础.
参考文献
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