超薄显示技术已成为市场的一种主流趋势.本文利用刻蚀后清洗的间歇式工艺研究了显示屏半成品的化学减薄.在光刻胶和边框胶保护下,调整氢氟酸浓度,加入一定量的硝酸、浓硫酸和盐酸,并添加超声辅助条件,刻蚀速率明显提高.通过交替的清洗工艺有效地降低了表面粗糙度,并减少了表面白色附着物的沉淀.显示屏厚度从0.8 mm减薄到0.3 mm,基板表面粗糙度为11.32 nm,厚度均匀性为4.76％.设计的间歇式减薄工艺可以应用到现有的显示屏生产工艺中,为制作超薄液晶显示屏和超薄有机发光显示屏提供了一条可行的方案.
参考文献
| [1] | Seong Sik Choi;Hyun Chul Bae;Woo Jun Kim;Jae Chang Choi;Byung Choon Yang;Eui Jeong Kang;Tae Seok Jang.Ultra-Slim TV Module Technology[J].SID International Symposium: Digest of Technology Papers,20092(2):720-722. |
| [2] | Yen-Cheng Tu;Bo-feng Chen;Jen-Chien Peng;Yung-Hsun Wu;Chiulien Yang.An Ultra-slim Border TFT-LCD Technology Using Gate Fan-out in Active Area[J].SID International Symposium: Digest of Technology Papers,20101(1):32-34. |
| [3] | 吕伟振;刘伟奇;魏忠伦;康玉思;田志辉;孟祥翔.大屏幕投影显示光学系统的超薄化设计[J].光学精密工程,2014(8):2020-2025. |
| [4] | 韦晓娜;杨波;张薇;庄松林;陈家壁.用LED实现高亮度超薄型背光源的设计方法[J].微计算机信息,2011(7):112-114. |
| [5] | 李德君;刘刚;吕国强;方旭东;冯奇斌.直下式 LED 背光模组的超薄设计[J].液晶与显示,2014(6):1101-1105. |
| [6] | 鲍兆臣.电子信息显示用超薄玻璃研究[J].建材世界,2014(04):25-28. |
| [7] | 李凯华;晏乃强;徐亚玲;黄源;瞿赞;刘志彪.玻璃减薄蚀刻液中氟硅酸的选择性脱除方法[J].环境工程学报,2014(3):1079-1085. |
| [8] | 马超;唐会明;徐功涛.一种碱性玻璃腐蚀工艺的研究[J].清洗世界,2011(7):17-21. |
| [9] | 钟年丙;廖强;朱恂;王永忠;陈蓉.超声技术在石英光纤腐蚀中的运用[J].光学精密工程,2012(5):988-995. |
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