用真空沉积技术制备了聚氯代对二甲苯(Parylene C)涂膜,考核了聚氯代对二甲苯涂膜与特种材料的附着力及涂膜的拉伸性能、耐化学介质性能、表面抗静电性能,并对具有复杂形状的工件表面进行均匀涂覆作了探索研究.结果表明聚氯代对二甲苯涂膜具有优异的综合性能,可以在复杂形状工件表面形成均匀涂膜,对被涂覆材料起到很好的保护作用.
参考文献
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