介绍了电子用高纯Ti02的使用领域以及技术特点,简述了电子用高纯Ti02主要制备方法,包括硫酸法、TiCl4直接水解法、氯化法、钛醇盐水解法；详细阐述了各种制备方法的原理、工艺流程、工艺控制、产品质量；对各种制备方法在工艺、设备、成本等方面进行了对比.硫酸法和TiCl4直接水解法因具有工艺简单、产品质量好等优点,在国内已实现了工业化.氯化法和钛醇盐水解法因生产技术难度大、设备材质要求苛刻等方面的原因,仍处于实验室研究阶段.并提出了工业应用的建议以及今后研究的方向.
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