金属基体上YSZ过渡层及YBCO薄膜结构与沉积条件的关系

稀有金属, 1998, 22(1): 35-38. doi: 10.3969/j.issn.0258-7076.1998.01.009

金属基体上YSZ过渡层及YBCO薄膜结构与沉积条件的关系

王敬 ^1, , 刘安生 ^2, , 石东奇 ^3, , 王晓华 ^4, , 邵贝羚 ^5, , 袁冠森 ^6,

1.北京有色金属研究总院,北京100088

2.北京有色金属研究总院,北京100088

3.北京有色金属研究总院,北京100088

4.北京有色金属研究总院,北京100088

5.北京有色金属研究总院,北京100088

6.北京有色金属研究总院,北京100088

基金项目: 中国科学院资助项目

关键词： YBCO薄膜 , YSZ过渡层 , 微结构 , 金属基体

Relation between Deposition Condition and Microstructure of YBCO Film and YSZ Buffer Layer on Metallic Substrate

研究了两种在金属基体 (Hastelloy-C) 上沉积的、以钇稳定的ZrO2 (YSZ) 为过渡层的YBa2Cu3O7-y薄膜结构, 并讨论了结构与沉积条件的关系. 当沉积速率低时, YSZ层致密、均匀, 存在织构取向, 且与基体连接良好; 而高速率沉积的YSZ层疏松, 与基体结合差. YBCO薄膜的结构和性能与沉积时的基体温度相关.

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Relation between Deposition Condition and Microstructure of YBCO Film and YSZ Buffer Layer on Metallic Substrate

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