9900型靶材与靶托的连接技术

1.北京有色金属研究总院,北京,100088

Bonding of Target Material and Backing Plate for 9900 Sputtering System

针对9900型靶材与靶托的连接中存在的难题分析其原因, 对此采取了一些措施, 通过靶材大小, 焊料的改进和热处理等, 实现了Ni-Cr合金、铬、银靶与铜底托的连接,生产出产品的批量使用证明, 焊接质量完全满足使用要求.

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