分析了氟化镁单晶体与多晶体成膜过程的行为,得出了二者不同的聚集方式是造成薄膜耐磨性差异的原因这一结论。给出了改善单晶氟化镁耐磨性的最佳退火条件:350℃退火 2 h。
The depositing behaviors of MgF2 monocrystal and MgF2 polycrystal were analyzed. It was concluded that the different packing patterns of two materials result in different wear-resistance of films. The best annealing condition to improve the wear-resistance of films deposited with monocrystals is that the films are annealed at 350℃ for 2 h.
参考文献
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