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介绍了探测器级 NTD 硅单晶的制作工艺,并对如何保证探测器级 NTD 硅单晶的质量进行了讨论。

The process to manufacture the NTD monocrystalline silicon for detectors was described, and the problem how to ensure its quality was discussed.

参考文献

[1] 沃尔夫冈·凯勒 .固体材料的制备及性能[J].洛阳单晶硅厂技术情报档案科译,1984,109
[2] 张洪川.硅材料学术会议[M].长沙,1986:421.
[3] 沈复初.硅材料学术会议[C].,1985:391.
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