大直径直拉硅单晶炉热场的数值模拟

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基金项目: 国家计委科研项目

Numerical Simulation of Thermal Field in a Large-Diameter CZ-Si Single Crystal Furnace

数值模拟技术已经成为分析和发展工业化晶体生长工艺必不可少的工具.提出了直拉硅单晶生长过程温度分布的有限元模拟,通过对300mm单晶炉内热场的数值模拟计算,得出了晶体生长不同阶段的单晶炉内温度分布及相应的温度梯度和热流密度分布.

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