CVDZnSe是目前光学性能最好的红外光学材料之一.但在制备CVDZnSe时, 尾气中未反应完全的剧毒硒化氢气体, 对操作人员及环境的危害很大.采用逆流填料塔来吸收CVD方法制备ZnSe系统中的剧毒尾气硒化氢.为加快传质速率, 提高吸收率, 选用NaOH溶液作吸收液;利用H2Se气体与此溶液反应, 降低气体在水溶液中的浓度, 加大传质推动力;选择了具有高效分离因子的填料以减小塔身的高度和直径.并且对循环吸收液进行氧化, 双重过滤等处理.最后用型号为TX-FMD的H2Se检测仪测量处理后的尾气中H2Se气体的含量, 达到排放要求.
参考文献
| [1] | 苏小平;余怀之;褚乃林.半导体材料的红外光学特性及应用[J].稀有金属,1997(06):55. |
| [2] | 谭天恩;麦本熙.化工原理[M].北京:化学工业出版社,1994 |
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| [4] | Deutsh Thomas F.Laser window materials-an overview[J].Journal of Electronic Materials,1975(04):663. |
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