介绍了采用化学气相沉积(CVD)技术制备ZnS的原理及特点,提出用气体流形模拟研究目前生长过程中沉积厚度均匀性、长时间沉积稳定性以及重复性等问题.选择了合适的描述沉积室内气体运动的流体力学和表面反应动力学模型,利用流体力学的偏微分方程组(Navier-Stokes方程组),通过数值计算,得到沉积室内的速度场及流动场的模拟结果.比较可得在一定流速比下,采用环形主气流及横截面小的沉积室,可大大提高沉积室纵向生长均匀性.
参考文献
[1] | 赵秀丽.红外系统设计[M].北京:机械工业出版社,1986:368. |
[2] | Dan Hanis.Infrared Windows and Dome Material[M].San Diago:Academic Press,1992 |
[3] | Lewis Keith L;Arthur Gordon S;Banyard Stephen A .Hydrogen-related defects in vapour-deposited zinc sulphide[J].Journal of Crystal Growth,1984,66:125. |
[4] | Savage J A;Lewis K L;Pitt A M.The role of a CVD research reactor in studies of the growth and!physical properties of ZnS infrared optical material[J].SPIE Advances in Optical Materials,1984(505):47. |
[5] | Campbell Stephen A;曾莹.微电子制造科学原理与工程技术[M].北京:电子工业出版社,2003:92. |
[6] | 卡门·冯.气体动力学基本原理[M].北京:科学出版社,1988:16. |
[7] | 拉米雷兹W F.化工过程模拟[M].北京:化学工业出版社,1985:37. |
[8] | 谭天恩;麦本熙.化工原理[M].北京:化学工业出版社,1984:51. |
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