采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺在金属钛基底上制备SiO2薄膜.探讨了工艺条件对SiO2薄膜质量的影响.用X射线衍射(XRD)、红外光谱(FTIR)和扫描电镜(SEM)等测试技术对薄膜的表面组成、结构与形貌进行了研究.结果表明,当控制溶胶pH=3,n(TEOS):n(H2O):n(EtOH)=1:4:11时,在70℃下陈化10 h可获得粘性适宜的溶胶,所镀的SiO2薄膜不发生龟裂,表面均匀多孔,孔径分布在2～3 μm之间.所制备的SiO2薄膜在1.5倍模拟体液中浸泡10 d后其表面迅速形成由球状碳磷灰石(CHA)颗粒组成的沉积层,说明SiO2薄膜具有良好的生物活性.
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