YBCO沟槽型台阶结和rf SQUID的制备及性能研究

低温物理学报 , 1999, 21(1): 5-12. doi: 10.3969/j.issn.1000-3258.1999.01.002

YBCO沟槽型台阶结和rf SQUID的制备及性能研究

马平 ^1, , 谢飞翔 ^2, , 王守证 ^3, , 刘乐园 ^4, , 张凡 ^5, , 聂瑞娟 ^6, , 胡晓东 ^7, , 戴远东 ^8, , 王世光 ^9, , 甘子钊 ^10,

1.北京大学物理学系,北京,100871

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PREPARATION AND PERFORMANCE RESEARCH OF YBCO STEP GRAIN BOUNDARY JUNCTIONS AND rf SQUIDs

本工作在沟槽型台阶衬底上用直流磁控溅射法外延生长YBa2Cu3O7-δ(YBCO)超导薄膜后,制备出台阶结和射频超导量子干涉器(rf SQUID).液氮中器件的磁通灵敏度和磁场灵敏度分别达到2.0×10-4Φ0/和294fT/.涂有真空导热硅脂作保护层的器件, 至今寿命已达10个月, 经历了30次以上(个别器件达50次)测试过程中从液氮到室温的冷热循环, 性能没有明显的变化, 表现出很好的稳定性.通过研究, 解决了制备rf SQUID器件工艺过程中存在的一些问题, 提高了制备器件的可重复性, 得到高性能器件的成品率达到30%～50%.

参考文献

[1]	Y. Zhang;W. Zander;J. Schubert .Operation of high-sensitivity radio frequency superconducting quantum interference device magnetometers with superconducting coplanar resonators at 77 K[J].Applied physics letters,1997(5/8):704-706.
[2]	马平;王继纯;王守证;刘乐园, 聂瑞娟, 胡晓东, 王世光, 戴远东.[A].合肥,1998
[3]	杨涛 .高温超导约瑟夫森结、阵列的和场效应的实验研究[D].西北大学,1998.

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