HTS台阶边缘结特性和制作的实验研究

1.中国科学院物理研究所、超导国家重点实验室,北京,100080

2.西北大学物理系、西北大学近代物理研究所,西安,710069

3.中国科学院物理研究所、超导国家重点实验室,北京,100080

4.中国科学院物理研究所、超导国家重点实验室,北京,100080

CHARACTERISTICS AND MAKING OF HTS STEP-EDGE JOSEPHSON JUNCTIONS

本文用原子力显微镜(AFM)对有不同伏安特性的台阶边缘结之台阶形貌进行了仔细测量.结果表明:台阶边缘晶界结特性受非平面衬底离子束刻蚀剖面细节的影响.文中对刻蚀剖面形貌的细节对结性能的影响进行了分析,并讨论了台阶结制作工艺重复性差,成品率低的原因.

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