Ag/Pb(Zr0.53Ti0.47)O3/YBa2Cu3O7-x三端器件构造和性能的研究

低温物理学报 , 1999, 21(1): 59-63. doi: 10.3969/j.issn.1000-3258.1999.01.012

Ag/Pb(Zr0.53Ti0.47)O3/YBa2Cu3O7-x三端器件构造和性能的研究

刘保亭 ^1, , ^2, , 郝昭 ^3, , 陈莺飞 ^4, , 许波 ^5, , 陈红 ^6, , 吴非 ^7, , 赵柏儒 ^8,

1.中国科学院物理研究所,国家超导实验室,北京,100080

2.Institute of Crystallography, Mosccow, Russia 117333

3.中国科学院物理研究所,国家超导实验室,北京,100080

4.中国科学院物理研究所,国家超导实验室,北京,100080

5.中国科学院物理研究所,国家超导实验室,北京,100080

6.中国科学院物理研究所,国家超导实验室,北京,100080

7.中国科学院物理研究所,国家超导实验室,北京,100080

8.中国科学院物理研究所,国家超导实验室,北京,100080

FABRICATION AND PROPERTIES OF Pb(Zr0.53Ti0.47)O3/YBa2Cu3O7-δ HETEROSTRUCTURES

应用脉冲激光沉积法和光刻技术我们成功地制作Ag/Pb(Zr0.53Ti0.47)O3/YBa2Cu3O7-x(PZT/YBCO) 三端器件. 为了降低矫顽场, 应用变形相界(x≈0.53)的550纳米厚的PZT作为门电极, 通过优化沉积条件和门电极面积小型化(6×10-6cm2), 在64K下三端器件门电极显示了极好的电性能, 低的矫顽场(～37kV/cm)、大的饱和极化强度(60μC/cm2)、剩余极化强度(41μC/cm2)以及击穿电压～3×105V/cm. 对于我们的场效应器件, 在±9V的情况下沟道电阻被调制～3%.

参考文献

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