不同衬底上制备YBa2Cu3O7-δ超导薄膜的微结构研究

低温物理学报 , 2002, 24(2): 81-86. doi: 10.3969/j.issn.1000-3258.2002.02.001

不同衬底上制备YBa2Cu3O7-δ超导薄膜的微结构研究

王小平 ^1, , 刘援 ^2, , 王霈文 ^3, , 李季 ^4, , 林晨光 ^5, , 华志强 ^6, , 冯稷 ^7, , 吴柏枚 ^8, , 杜英磊 ^9,

1.北京有色金属研究总院,北京,100088

2.北京有色金属研究总院,北京,100088

3.北京有色金属研究总院,北京,100088

4.北京有色金属研究总院,北京,100088

5.北京有色金属研究总院,北京,100088

6.北京有色金属研究总院,北京,100088

7.中国科学院物理研究所,北京,100080

8.中国科学技术大学,合肥,230026

9.中国科学技术大学,合肥,230026

基金项目: 国家自然科学基金(10174070) 国家超导技术联合研究开发中心资助项目

STUDY OF MICROSTRUCTURE OF YBCOFILMS ON DIFFERENT SUBSTRATESProject

采用大直径中空柱状阴极直流磁控溅射装置,在LaAlO3和Zr(Y)O2衬底上制备YBCO超导薄膜.用透射电镜(TEM)、扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)对薄膜和衬底间的界面,薄膜的螺旋生长结构,YBCO薄膜及其相应衬底的表面形貌进行了观察和测量.分析了基片表面形貌及表层内缺陷对界面附近薄膜组织结构的影响.研究了不同衬底沉积的超导薄膜具有不同表面形貌的原因.从生长机理角度对表面形貌、缺陷和位错的形成机制进行讨论.

参考文献

[1]	M Hawley;I D Ralstrick;JGBeery .[J].科学(上海),1991,251:1587.
[2]	C Gerber;D Anselmetti;JGBednorz;J Mannhart and D G Schlom .[J].NATURE,1991(28):279.
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[4]	N Savvides;A Katsaros .[J].PHYSICA C,1994,226:23.
[5]	王小平;杨秉川;石东奇;李文祥,华佩文,孙丽虹,张启海 .[J].稀有金属,1996(20):317.
[6]	王小平;杨秉川;李文祥;石东奇,袁冠森,张朝兴,王海彦,吴东升,郝建民,温业礼 .[J].低温物理学报,1995,17(z1):352.
[7]	吴柏枚;杜英磊;王小平 .kim Young-you and Lee Ki-hwan[J].低温物理学报,1999,21(z1):277.

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