初探混合物理化学气相沉积法(HPCVD)制备不锈钢衬底MgB2超导厚膜样品

低温物理学报 , 2004, 26(4): 344-349. doi: 10.3969/j.issn.1000-3258.2004.04.013

初探混合物理化学气相沉积法(HPCVD)制备不锈钢衬底MgB2超导厚膜样品

王新峰 ^1, , 郭荆璞 ^2, , 贾璋 ^3, , 吕莹 ^4, , 朱萌 ^5, , 王晓楠 ^6, , 陈晋平 ^7, , 徐军 ^8, , 冯庆荣 ^9,

1.北京大学物理学院,国家人工微结构和介观物理重点实验室,北京,100871

2.北京大学物理学院,国家人工微结构和介观物理重点实验室,北京,100871

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6.北京大学物理学院,国家人工微结构和介观物理重点实验室,北京,100871

7.北京大学物理学院,国家人工微结构和介观物理重点实验室,北京,100871

8.北京大学物理学院,国家人工微结构和介观物理重点实验室,北京,100871

9.北京大学物理学院,国家人工微结构和介观物理重点实验室,北京,100871

基金项目: 国家超导技术联合研究开发中心资助项目(BKBRSF-G19990646-02)

关键词： MgB2 , 厚膜超导体 , 不锈钢衬底 , SEM图 , X-光衍射

SUPERCONDUCTING MgB2 FILMS FABRICATED ON STAINLESS STEEL SUBSTRATE BY HYBRID PHYSICAL CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

介绍用混合物理化学气相沉积法(HPCVD)制备的不锈钢衬底MgB2超导厚膜样品.该样品的Tc(onset)=38K,Tc(0)=27K.X光衍射图形表明它是(101)方向织构的致密厚膜.这种膜具有较强的韧性,同时和衬底有高度的结合性.当其被弯曲到约200微米半径的弧度时,膜面会出现条状裂纹,但仍有少部分膜面未被破坏,保持完整,表现出较好的韧性.

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