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由于超导薄膜的表面阻抗Rs这一参量对超导微波元件的设计和开发有很重要意义,测量超导薄膜的表面阻抗Rs也就非常重要.目前国际上制定了高温超导薄膜在微波波段上表面阻抗Rs电特性的标准测量方案:IEC/TC90.此方案采用介质杆谐振器法测量表面阻抗的原理,使用蓝宝石介质杆和超导膜组成的谐振器法测量超导膜的Rs.本文分析了各个测量量对标准测量方案的测量精度,分析了在12GHz微波频率下,系统的各个实际部件的加工误差.认为频谱曲线的测量误差,即背景误差对最终测量结果Rs的影响是主要的.

参考文献

[1] IEC/TC-90:INTERNATIONAL STANDARD Superconductivity-Part 7[S].
[2] 沈致远;盛克敏;王素玉.高温超导微波电路[M].北京:国防工业出版社,2000
[3] 周清一.微波测量技术[M].北京:国防工业出版社,1964
[4] 许华嵘,吴立勇,施建荣,曹春海,蔡卫星,孙国柱,王相元,钱鉴,杨森祖,吉争鸣,程其恒,吴培亨.Rs标准测量系统的研究及其误差讨论[J].低温物理学报,2002(04):268-275.
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