本文研究了高温超导薄膜表面经氩离子不同程度刻蚀后其物理性能的变化,并采用离子刻蚀的方法设计制备了一个四节超导滤波器.YBa 2Cu 3O 7- x (YBCO)薄膜表面经氩离子适当厚度刻蚀后的测试结果表明,薄膜的零电阻超导临界温度 T c 随刻蚀时间适当的增加而提高,但过度刻蚀会带来电阻率的增大及转变宽度加宽.经SEM观测,刻蚀后薄膜表面的颗粒减少,趋于平整,通过XRD分析,离子刻蚀使薄膜晶格常数 c 发生了变化,同时测得超导薄膜的临界电流密度 J c 基本保持不变.这一工作表明氩离子刻蚀对薄膜的氧含量及氧分布有一定的调控作用,并能提高薄膜的平整度,而且用此工艺制备出的超导滤波器显示出良好的微波特性,各项指标均达到了设计要求.这些研究对高温超导薄膜在微波电路中的应用提供了有利的帮助.
参考文献
| [1] | 林良真;张金龙;李传义;夏平畴, 杨乾生.超导电性及其应用[M].北京:北京工业大学出版社,1998:137. |
| [2] | Th Bollmeier;W Biegel;B Schey;B.Stritzker, W.Diete, Th.Kaiser, G.Muller .[J].Journal of Alloys and Compounds,1997,251:176. |
| [3] | B. Schey;W. Biegel;M. Kuhn;B. Stritzker .Large area pulsed laser deposition of YBCO thin films[J].IEEE Transactions on Applied Superconductivity: A Publication of the IEEE Superconductivity Committee,1999(2 Pt.2):2359-2362. |
| [4] | Y A Jee;M Li;B Ma;V.A.Maroni, B.L.Fisher, U.Balachandran .[J].Physica C,2001,356:297. |
| [5] | 李林;郭莉萍;刘军政 .[J].电子显微快报,1997,16:245. |
| [6] | H Y Nan;X Yao;M Murakami;S.Tanaka .[J].Physica C,1997,282-287:1043. |
| [7] | N. C. Mishra;D. Behera;T. Mohanty;K. Patnaik;L. Senapti;O. G. Singh;D. Kanjilal;G. K. Mehta;R. Pinto .140 MeV Si-ION irradiation induced T_c enhancement in YBCO thin films[J].Modern Physics Letters, B. Condensed Matter Physics, Statistical Physics, Applied Physics,1999(2):79-87. |
| [8] | J D Jorgensen;B W Veal;A P Paulikas;L.J.Nowicki, G.W.Crabtree, H.Caus and W.K.Kwok .[J].Physical Review B,1990,41:1863. |
| [9] | 李春光,罗胜,张国华,沈庆飞,何豫生,金铎,熊光成,连贵君,尹道乐.YBCO超导薄膜中磁通宏观量子蠕动现象的研究[J].低温物理学报,2002(02):129-132. |
| [10] | 曹春海,杨名,张世远,杨森祖,崔旭高,尤立星,吉争鸣,康琳,许伟伟.YBCO薄膜中自旋极化准粒子的注入效应[J].低温物理学报,2003(03):168-173. |
| [11] | 庄承钢,安玲,陈莉萍,丁莉莉,张开诚,陈晋平,徐军,冯庆荣,甘子钊.混合物理化学气相沉积法制备不锈钢衬底MgB2超导厚膜样品的韧度研究[J].低温物理学报,2005(02):103-110. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%