氧气氛退火对La0.7Sr0.3MnO3薄膜结构及性能的影响

低温物理学报 , 2006, 28(4): 343-347. doi: 10.3969/j.issn.1000-3258.2006.04.009

氧气氛退火对La0.7Sr0.3MnO3薄膜结构及性能的影响

杜永胜 ^1, , 张雪峰 ^2, , 于敦波 ^3, , 李彤 ^4, , 严辉 ^5,

1.内蒙古科技大学理学院,包头,014010

2.内蒙古科技大学理学院,包头,014010

3.北京有色金属研究总院,北京,100088

4.北京工业大学材料学院薄膜材料与技术研究室,北京,100022

5.北京工业大学材料学院薄膜材料与技术研究室,北京,100022

基金项目: 北京市自然科学基金(G2021003) 科技部专项基金(G2002CCC01300)

关键词： LSMO薄膜 , 退火 , 矫顽力 , 平均表面粗糙度

EFFECTS OF ANNEALING PROCEDURES ON THE STRUCTURAL AND MAGNETIC PROPERTIES OF La0.7Sr0.3MnO3 FILMS DEPOSITED ON DIFFERENT SUBSTRATES

利用磁控溅射方法,在(100)Si、LaAlO3(LAO)和SrTiO3(STO)衬底上制备得到了La0.7Sr0.3MnO3(LSMO)薄膜,通过X射线衍射仪、原子力显微镜以及磁性测量系统研究了不同温度氧气氛下的后续退火对LSMO薄膜结构及磁学性能的影响. 结果表明:随着退火温度的升高,LAO和STO衬底上的LSMO薄膜氧含量逐渐增加,Mn4+/Mn3+的比值逐渐趋向于3∶7,表现为面外晶格常数逐渐减少,饱和磁化强度及居里温度都有明显提高,而矫顽力则有所降低;拉曼散射实验结果更直观的给出了退火后LSMO晶格有序性的增加和Jahn-Teller畸变的减弱;而Si单晶上的LSMO薄膜在高温下由于与衬底发生了复杂的化学反应而导致相结构发生改变.

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