研究了一种利用纳米金属掩膜和离子辐照技术在高温超导YBCO薄膜上制备Josephson结的方法.首先用在YBCO薄膜甩上一层800nm左右的光刻胶(PMMA),继而在光刻胶上用直流磁控溅射的方法镀上一层大约300nm左右的Cr膜,利用紫外曝光和离子刻蚀的方法在YBCO薄膜上形成覆盖有Cr膜的微桥,然后,利用聚焦离子束系统(FIB)在微桥上刻出一个50nm左右的狭缝,最后利用120keV的H2+对狭缝内的材料进行辐照,从而使狭缝部分的材料超导电性减弱,形成类似SNS型的Josephson结.
参考文献
| [1] | R H Hadfield .Josephson Junction Fabrication by Focused Ion Beam[D].剑桥:剑桥大学,2002. |
| [2] | D J Kang;N H Peng et al.[J].Nuclear Instruments & Methods in Physics Research,2002,B188:183-188. |
| [3] | 崔铮.微纳米加工技术及其应用[M].北京:高等教育出版社,2005 |
| [4] | A S Katz;S I Woods;R C Dynes .[J].Applied Physics Letters,2000,87:2978. |
| [5] | D. J. Kang;R. Speaks;N. H. Peng;R. Webb;C. Jeynes;W. E. Booij;E. J. Tarte;D. F. Moore;M. G. Blamire .Nanometer scale masked ion damage barriers in YBa{sub}2Cu{sub}3O{sub}(7-δ）[J].IEEE Transactions on Applied Superconductivity: A Publication of the IEEE Superconductivity Committee,2001(1 Pt.1):780-783. |
| [6] | 孙国柱,吴培亨,王颖,吉争鸣,包慧玲,康琳,许伟伟,陈健.Josephson结跳变电流在不同温度下的统计分布[J].低温物理学报,2006(03):219-223. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%