二氧化硅纳米薄膜非平衡热导率研究

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THE STUDY OF NONEQUILIBRIUM THERMAL CONDUCTIVITY OF SILICON DIOXIDE NANO FILM

二氧化硅纳米绝缘薄膜的传热是靠声子在薄膜的振动实现的.声子在纳米薄膜结构中传输的非平衡性影响了薄膜的热导率,3ω实验方法是一种可以对薄膜热导率进行瞬时测量的方法,本文采用3ω方法分别测量低频率段和高频段的二氧化硅薄膜温升及二氧化硅薄膜的热导率,对二氧化硅薄膜的非平衡热导率进行了分析.

[1]	刘静.微米/纳米尺度传热学[M].北京:科学出版社,2001
[2]	Gang Chen;Tadang Zeng .[J].Microscale Thermophysical Engineering,2001,5:71-88.
[3]	Cahill D.G .[J].Review of Scientific Instruments,1990,61(02)
[4]	S.-M.Lee;Cahill D.G .[J].Journal of Applied Physics,1997,81:15.
[5]	CahiU D.G;Cvoodson K.E;Majumdar A .[J].Journal of Heat Transfer,2002,124:223-241.
[6]	Cahill D.G;Katiyar M Abelson .[J].Physical Review B,1994,50:6077-6081.
[7]	Cahill DG.;Selinder TI.;Lee SM. .Thermal conductivity of kappa-Al2O3 and alpha-Al2O3 wear-resistant coatings[J].Journal of Applied Physics,1998(11 Pt.1):5783-5786.
[8]	Kim J H;Feldman A;Novotny D .[J].Journal of Applied Physics,1999,86:3959.
[9]	Yamane T;Nagd N;Kstayama S;Todoki M.[J].Journal of Applied Physics,2002
[10]	Randzls C E;Schatz F .[J].Journal of Applied Physiology,2003,93:6050.

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