在硬质合金和Si3N4陶瓷刀具表面采用热丝CVD法合成金刚石薄膜的结合性能具有明显差异.在沉积金刚石过程中,根据碳源通入系统中的时机不同,硬质合金表面容易形成石墨、WC等松散层,膜的结合性能变差,由于热应力大,在无外力作用下膜有时发生自动剥落现象;而Si3N4陶瓷表面上金刚石膜具有良好结合性能.在压应力作用下,两衬底上的金刚石薄膜剥离过程也不同,硬质合金上膜直接以剥落形式失效,而Si3N4上膜以产生裂纹及其扩展失效.
参考文献
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