为了确定以乙酰丙酮铱这种金属β-二酮化合物为沉积源的金属铱MOCVD的具体工艺参数,针对基体面积较大或不规则的工艺条件,本文自行设计了能在不同温度下适时采集数据的微量失重-时间数据采集记录仪,进行了以Ar气为载气,温度在220℃-250℃之间的乙酰丙酮铱质量传输过程的试验研究,发现质量传输速度不仅与载气、温度有关,而且与有效表面积有关.实验给出了了相关温度下质量传输速度的有关数据.
参考文献
| [1] | 许效红,侯云,王民,王弘,周爱秋.金属β-二酮化合物用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜[J].化学进展,2002(01):61-67. |
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| [3] | N E Fedotova;N V Gelfond;I K Igumenov .[J].International Journal of Thermal Sciences,2001,40(05):469. |
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