利用光学显微镜和X射线衍射技术,分析了非晶态Se和掺杂Sb的Se薄膜的晶化特性.Se薄膜由于保存周期不同以及Sb掺杂到Se中的Sb含量的多少都会影响Se的晶化特性;在热处理下薄膜的晶化呈现各向异性的择优生长.分析了晶化过程中微裂纹的产生,晶界的产生和体积收缩.薄膜与衬底之间的热应力是产生微裂纹的主要因素.
参考文献
| [1] | Makoto Shiojiri .[J].Japanese Journal of Appl Phys,1967,6(02):163-171. |
| [2] | Makoto Shiojiri;Hiroshi Morikawa;Eiji Suito .[J].Japanese Journal of Appl Phys,1969,8(09):1077-1081. |
| [3] | 范玉殿;周志烽 .[J].材料科学与工程,1996,14(01):5-12. |
| [4] | Horie M.;Ohno T. .DURABILITY OF DIELECTRIC PROTECTIVE LAYERS AGAINST REPETITIOUS THERMAL STRESS IN PHASE-CHANGE OPTICAL RECORDING[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,1996(1/2):74-81. |
| [5] | Nobukuni N;Takashima M;Ohno M;Horie M .[J].M J Appl Phys,1995,78(12):6980-6988. |
| [6] | 何宇亮;陈光华;张仿清.非晶态半导体物理学[M].北京:高等教育出版社,1989 |
| [7] | Ozenbas M .[J].Vacuum,1990,141(4-6):139-1342. |
| [8] | Moktonobu Kawarada;Yuichiro Nishina .[J].Japanese Journal of Appl Phys,1975,14(10):1519-1527. |
| [9] | 庞德兴;王景唐;丁炳哲;李智贤 .[J].金属学报,1989,25(05):321-b324. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%