CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究

1.同济大学声学研究所,上海200092

2.同济大学声学研究所,上海200092

3.人工晶体研究所,北京100018

4.人工晶体研究所,北京100018

基金项目: 中国科学院资助项目

Laser Ultrasonic Study on Acoustic Character of CVD Diamond

本文介绍了压电薄膜检测的激光超声系统对CVD金刚石膜声速测量的原理及方法.利用反射回波法对二块金刚石膜试样的纵波声速的测量结果为(2.010±0.014)×104m/s,证实了CVD金刚石膜的高声速特性.

[1]	Hideakl Nakahata.High-frequency Surface Acoustic Wave Filter Using ZnO/Diamond/Si Structure[A].MYU,Tokyo,1993:361-364.
[2]	钱梦;李志淳;魏墨庵;马录 .激光超声技术研究纳米材料的力学特性[J].应用声学,1994,3(01):5.
[3]	Qian Menglu;Zhang Wanchun;Wu Tiancheng .[J].Chinese J of Acoustics,1994,13(03):202.

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