温梯法Al2O3晶体位错形貌分析

人工晶体学报, 1999, 28(3): 249-252. doi: 10.3969/j.issn.1000-985X.1999.03.008

温梯法Al2O3晶体位错形貌分析

周国清 ^1, , 徐军 ^2, , 邓佩珍 ^3, , 徐科 ^4, , 周永宗 ^5, , 干福熹 ^6, , 朱人元 ^7, , 田玉莲 ^8, , 蒋建华 ^9, , 王洲光 ^10,

1.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

2.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

3.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

4.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

5.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

6.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

7.美国加州理工学院

8.中国科学院高能物理研究所,北京,100039

9.中国科学院高能物理研究所,北京,100039

10.中国科学院高能物理研究所,北京,100039

基金项目: 国家科技攻关项目

关键词： Al2O3晶体 , 位错 , 腐蚀 , 衍射衬度 , 温梯法

Topography Analysis of Dislocation in Al2O3 Crystal by Temperature Gradient Technique

用温度梯度法(Temperature Gradient Technique,简称温梯法或TGT法),定向籽晶[0001]方向,生长出φ110mm×80mm Al2O3单晶,晶体完整、透明.采用硼酸钠玻璃液作为Al2O3晶体的化学抛光和化学腐蚀剂,观察了晶体不同部位处(0001)、(112-0)晶片的化学腐蚀形貌相,(0001)切片的位错腐蚀坑呈三角形,位错密度为2×103～3×103/cm2;(112-0)切片位错腐蚀坑呈菱形,位错密度为7×103～8×103/cm2;而且等径生长部位的完整性比放肩处高.利用同步辐射X射线白光衍射实验分析了(0001)晶片的(2-021),(11-01)和(112-0)衍射面内的位错组态.确定了两组位错线的Burgers矢量,温梯法生长的Al2O3晶体中的位错主要是刃型位错.

参考文献

[1]	钱振英;侯印春;邓佩珍 .用X射线形貌术研究蓝宝石晶体质量[J].硅酸盐学报,1980,8(02):143.
[2]	杨顺华.晶体位错理论基础[M].北京:科学出版社,1988

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