气相合成金刚石薄膜的成核习性研究

1.哈尔滨工业大学航天学院,哈尔滨,150001

2.中国空间技术研究院508所,北京,100076

Research on the Nucleation Formation of Vapor-deposition Diamond Film

本文采用燃烧焰法观察金刚石薄膜的成核生长过程.分析了衬底表面刻划及油污处理等因素对金刚石成核的影响.观察到成核初期的金刚石不具有明显晶形,含有较高的石墨相.XRD谱表明:成核初期衬底表面形成非金刚石结构的过渡层.并提出了控制成核密度提高沉积质量的思想.

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