不同衬底材料上金刚石薄膜成核特点的研究

1.吉林工业大学机械工程系,长春130025

2.吉林工业大学机械工程系,长春130025

3.哈尔滨工业大学机械工程系,哈尔滨,150001

4.哈尔滨工业大学机械工程系,哈尔滨,150001

Study on the Diamond Film Nucleation Feature of Different Substrate Materials

研究了金刚石薄膜在WC-6%Co硬质合金、金属W和单晶Si片上的成核特点.实验结果表明,金刚石薄膜在上述衬底材料上的成核特点和成核机制不同.用于衬底研磨预处理的金刚石微粉粒度对金刚石在单晶Si片上的成核密度有较大影响,而对在WC-6%Co硬质合金和金属W上的成核密度没有太大影响.

[1]	汤卿成美 .ダイヤモニドの气×相成长(核生成を中心とて)[J].表面(日本),1991,29(11):863.

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