HFCVD金刚石膜的形貌对红外透射率的影响

1.中国科学院金属研究所,沈阳,110015;沈阳工业大学材料工程系,沈阳,110026

2.中国科学院金属研究所,沈阳,110015

3.中国科学院金属研究所,沈阳,110015

4.中国科学院金属研究所,沈阳,110015

5.中国科学院金属研究所,沈阳,110015

基金项目: 辽宁省科技厅资助项目中国科学院资助项目(59292800)

Influence of the Morphology of Diamond Films by HFCVD on Its Infrared Transmission

本文测量HFCVD生长的金刚石膜的红外透射率.结果表明,膜中的缺陷、杂质和非金刚石相在透射谱中产生吸收带;膜表面的粗糙度和组织形貌对透射率有较大的影响.形核表面面对红外光源时,由于减少表面散射而透射率较高;定向或高取向膜的透射率高于混杂取向膜的透射率,表明晶格取向和晶界分布影响膜的透射性能.

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