提拉法生长单晶工艺中扩肩阶段实行自动控制的研究

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Research on the Autocontrol of the Stage of Extending Shoulder in Growing Crystal by the Czochralski Method

在用提拉法(Czochralski)生长钽酸锂(LiTaO3)、铌酸锂(LiNbO3)单晶的实践中,通过对上"浮秤”模拟体的优化设计,成功实现了扩肩工艺阶段的自动控制.

[1]	张克从.晶体生长科学与技术[M].北京:科学出版社,1997

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