晶体退火是一个重要的工艺过程,不同温度、不同气氛下的退火处理是晶体缺陷研究的重要手段.本文从退火炉的整体构造、管端配件的设计、控温电路和温度程序控制调节器的使用三个方面介绍了由同济大学玻耳固体物理研究所自行研制的小型高精度温控退火炉装置,并针对典型的晶体退火过程详细分析了温控系统中PID参数的选取和控温程序的调试工作.
参考文献
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| [2] | 童诗白.模拟电子技术基础[M].北京:高等教育出版社,1997 |
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| [4] | 上海德华仪表厂.TCW-31温度程序控制调节器使用说明书[M]. |
| [5] | 侯志林.过程控制与自动化仪表[M].北京:机械工业出版社,1999 |
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