CaF2晶体的生长与光学性能

人工晶体学报, 2004, 33(1): 88-91. doi: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.01.019

CaF2晶体的生长与光学性能

苏良碧 ^1, , 董永军 ^2, , 杨卫桥 ^3, , 周国清 ^4, , 周圣明 ^5, , 赵广军 ^6, , 徐军 ^7,

1.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

2.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

3.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

4.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

5.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

6.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

7.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

基金项目: 上海市科技发展基金(022261053)

关键词：氟化钙(CaF2)晶体 , 温度梯度法(TGT) , 位错密度 , 透过率

Crystal Growth and Optical Properties of Calcium Fluoride

采用导向温度梯度法(TGT)生长CaF2晶体,建立了生长炉内的垂直温度梯度场.研究表明影响晶体质量及光学性能的主要因素包括坩埚材料、温度场、生长程序及原料纯度等.从大量的实验中总结出TGT法生长高质量CaF2晶体的生长条件如下:石墨坩埚;轴向梯度≤2℃/mm;生长降温速率1.5～2.5℃/h;冷却速率≤40℃/h.

参考文献

[1]	Pandelisev K A.Purification and Crystal Growth of CaF2 Having Superior Properties[A].Dana Point,CA,USA,May 14-17,2001
[2]	Axel Engel;Konrad Knapp;Lutz Aschke et al.Development and Investigation of High Quality of CaF2 used for 157nm Micro Lithography[J].Proceedings of SPIE,2001,4346:1183-1189.
[3]	Mouchovski JT.;Lyutskanov VL.;Haltakov IV. .GROWTH OF ULTRA-VIOLET GRADE CAF2 CRYSTALS AND THEIR APPLICATION FOR EXCIMER LASER OPTICS[J].Journal of Crystal Growth,1996(1/2):79-82.
[4]	周永宗 .一种温梯法生长高温晶体的装置[P].CN:85100534A,1986.
[5]	张克从;张乐潓.晶体生长科学与技术[M].北京:科学出版社,1997
[6]	BRICE J C .The Cracking of Czochraski-Grown Crystals[J].Journal of Crystal Growth,1977,42:427-430.

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Crystal Growth and Optical Properties of Calcium Fluoride

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