湿氧钝化CdSe(110)表面的XPS分析

人工晶体学报, 2004, 33(2): 164-167. doi: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.02.008

湿氧钝化CdSe(110)表面的XPS分析

罗政纯 ^1, , 朱世富 ^2, , 赵北君 ^3, , 王瑞林 ^4, , 陈松林 ^5, , 何知宇 ^6, , 李艺星 ^7, , 任锐 ^8,

1.四川大学材料科学系,成都,610064

2.四川大学材料科学系,成都,610064

3.四川大学材料科学系,成都,610064

4.四川大学材料科学系,成都,610064

5.四川大学材料科学系,成都,610064

6.四川大学材料科学系,成都,610064

7.四川大学材料科学系,成都,610064

8.四川大学材料科学系,成都,610064

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AAA325010) 四川省学术与技术带头人培养基金

关键词： CdSe单晶体 , 表面钝化 , XPS

XPS Analysis of Passivation (110) Surface of CdSe Oxidized at Oxydol

用双氧水对CdSe单晶(110)表面进行钝化,采用X射线光电子能谱(XPS)分析了湿氧处理的CdSe(110)表面的化学特征.通过两次不同分析模式FAT(固定通能)和FRR(固定减速比)所得到的结果表明:CdSe表面出现Se偏析,表面上形成了SeOx(x＜1),SeO、Cd(OH)2和CdCO3的高电阻稳定氧化层,消除了器件表面态,可以减少器件的表面漏电流和改善其信噪比.

参考文献

[1]	金应荣,朱世富,赵北君,王雪敏,宋芳,李奇峰,何福庆,彭秀峰,龙先灌.CdSe核辐射探测器的噪声与漏电流[J].半导体学报,2002(08):835-839.
[2]	Taylor Jason .Surface Stoichiometry of CdSe Nanocrystals[A].Materials Research Society Symposium,-Proceedings,1999,536:413-418.
[3]	Wagner C D;Riggs W M;Davis L E.Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy[M].Perkin-Elemer Crop,1980
[4]	刘朝旺.用XPS对CdTe（111）面进行化学特性分析[J].红外技术,1994(05):6.
[5]	金振声,薛锦珍,陈正石,杨廷录.空气中含 17O、18O的氧分子在CdO表面的富集[J].化学物理学报,2001(02):237-245.

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湿氧钝化CdSe(110)表面的XPS分析

XPS Analysis of Passivation (110) Surface of CdSe Oxidized at Oxydol

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