等径控制系统的改进及在光学级铌酸锂生长中的应用

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基金项目: 天津市科技攻关项目(003108911) 国家自然科学基金(60108001) 国家高技术研究发展计划(863计划)(2001AA313020)

Improvement of Diameter-constant Control System and Its Application in the Growth of Optical Grade Lithium Niobate Crystals

分析了提拉法晶体生长过程中影响滞后变化的因素,采用传统PID调节器和计算机辅助控制相结合的办法,解决了铌酸锂晶体生长过程中的精确等径控制问题,并在大直径铌酸锂晶体生长应用中取得了满意的效果.生长的76mm直径的铌酸锂晶体,生长条纹问题得到很大改善,光学均匀性提高了一个量级以上.

[1]	张克从;张乐惠.晶体生长科学与技术.第二版[M].北京:科学出版社,1997:480.
[2]	李人厚.智能控制理论与方法[M].西安:西安电子科技大学出版社,1999:86.
[3]	蒋慰孙.过程与控制[M].北京:化学工业出版社,1992:104.
[4]	Baumann I et al.Orthoscopic Investigation of the Axial Optical and Compositional Homogeneity of Czochralski Grown LiNbO3 Crystals[J].Journal of Crystal Growth,1993,128:903.

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