要求不断增大晶棒直径、不断提高晶体质量的晶圆市场,推动我国直拉单晶炉产品系列出现过三代更替,与此对应,产品赖以存在的技术平台也经历了三个阶段的演进.第四代产品研发需要在以往技术积累基础上,在炉室材料、炉体结构、焊接工艺、机械传动和电气控制、计算机智能控制、磁场发生装置和热场材料等方面进行新一轮技术创新.
参考文献
[1] | 蒋民华.人工晶体发展动向的探讨[J].人工晶体学报,2002(03):177-181. |
[2] | 郁元恒.从第一根硅单晶到两弹一星[A].,2000:56-59. |
[3] | 华保定 等.铬在18铬-8镍型不锈钢晶粒边界的贫铬层中的分布[J].金属学报,1965,8(01):98-102. |
[4] | 李留臣.一种新型捲扬提升机构[J].机械工程师,2000(09):14-15. |
[5] | 刘永辉;张佩芬.金属腐蚀学原理[M].北京:航空工业出版社,1993:110-113. |
[6] | 张其枢;堵耀庭.不锈钢焊接[M].北京:机械工业出版社,2000:2-6. |
[7] | 朱政强,陈立功,倪纯珍.振动焊接工艺的研究现状及发展方向[J].焊接,2003(05):5-6,11. |
[8] | 陈立功,倪纯珍,刘毅萍,罗瑞灵.不锈钢焊接构件的振动时效与热时效[J].机械工业标准化与质量,2002(03):37-40. |
[9] | Hirata H;Hoshikawa K .Three-dimension Numerical Analyses of the Effects of a Cups Magnetic Field on the Flows, Oxygen Transport and Heat Transfer in a Czochralski Silicon Melt[J].Journal of Crystal Growth,1992,125:181. |
[10] | 卢宁;陈治民.MCZ硅的氧碳含量及电阻率均匀性[A].:79-81. |
[11] | Gorbunov L.Investigation of Temperature Field and Melt Flows in Large-diameter CZ Silicon Modelling Experiments with Impact of Magnetic Fields[A].Hannover, March 2426,2003 |
[12] | 吴金良,钟兴儒,陈诺夫,田金法,林兰英.一种新型的超导磁场单晶炉的研制[J].功能材料与器件学报,2000(04):453-456. |
[13] | Masahito Watanabe;Minoru Eguchi;Wei Wang .Controlling oxygen concentration and distribution in 200 mm diameter Si crystals using the electromagnetic Czochralski (EMCZ) method[J].Journal of Crystal Growth,2002(Pt.3):1657-1662. |
[14] | 李崇俊,马伯信,金志浩.碳/碳复合材料的新发展[J].材料科学与工程,2000(03):135-140. |
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