纳米硅制备过程中微结构与反应气体流量之间的关系研究

人工晶体学报, 2004, 33(4): 644-646. doi: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.037

纳米硅制备过程中微结构与反应气体流量之间的关系研究

刘英才 ^1, , 尹衍升 ^2, , 李静 ^3, , 李嘉 ^4, , 初蕾 ^5,

1.中国海洋大学材料科学与工程学院,青岛,266003;河北科技大学材料科学与工程学院,石家庄,050054

2.中国海洋大学材料科学与工程学院,青岛,266003;山东大学材料液态结构及其遗传性教育部重点实验室,工程陶瓷山东省重点实验室,济南,250061

3.山东大学材料液态结构及其遗传性教育部重点实验室,工程陶瓷山东省重点实验室,济南,250061

4.山东大学材料液态结构及其遗传性教育部重点实验室,工程陶瓷山东省重点实验室,济南,250061

5.中国海洋大学材料科学与工程学院,青岛,266003

基金项目: 国家自然科学基金(50242008)

关键词：纳米硅 , 激光诱导化学气相沉积法 , 晶体生长 , 微结构

Study on the Relationship between Nano-silicon Microstructure and the Reactive Gas Flux during the Process of Preparation

Keywords： nano-silicon , LICVD (laser induced chemical vapor deposition) , crystal growth , microstructure

利用LICVD方法制备了纳米硅颗粒.研究了不同反应气体流量条件下,纳米硅微结构的转变规律,分析了制备工艺参数对纳米硅微结构的影响机制.研究表明,在激光功率密度恒定条件下,随着反应气体流量的增加,所制备纳米硅颗粒的尺寸逐渐变小,微结构中非晶态比例随反应气流的增加而增加.

Nano-silicon particles were prepared using LICVD technique. The transform discipline of nano-silicon microstructure was studied at different parameters. The effect mechanism of parameters was studied. The results show that in the conditions of constant laser power density and reactive gas components, with the increase of the reactive gas flux, the microstructures of nano-silicon particles are dramatically different, the grain size becoming smaller gradually and the amorphous phase increasing.

参考文献

[1]	Haggerty J S;Cannon W R.Laser-induced Chemical Processes[M].Steinbled J I ed. Plenum New York,1981
[2]	Wang W X;Liu S H;Mei Y B et al.Study on the Preparation Techniques of Laser - induced Chemical Vapor Deposited Nanosized Silicon Powders[J].Applied Laser(应用激光),1995,15(01):13.
[3]	Gao Xiaoyun;Chen Jing et al.Production of Ultrafine Si Powders by Laser Pyrolysis[J].Journal of Beijing University of Chemical Technology,1994,21(03):49.

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