高分辨X射线衍射法研究碳化硅单晶片中的多型结构

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基金项目: 国家自然科学基金(60025409) 国家高技术研究发展计划(863计划)(2001AA311080)

Investigation on the Polytype Structure of SiC Crystal Slice by High Resolution X-ray Diffractometry

我们采用高分辨X射线衍射法对SiC单晶片中的多型结构进行了研究,研究发现在以4H-SiC为籽晶的晶体生长过程中,4H-SiC、6H-SiC、15R-SiC出现两相共存或三相共存现象.在单相、两相或三相共存区,X射线摇摆曲线具有明显不同的特征.根据多型结构,可以对摇摆曲线中的衍射峰进行鉴定.

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