人工晶体生长设备真空系统的优化设计

人工晶体学报, 2004, 33(6): 1041-1043. doi: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.035

人工晶体生长设备真空系统的优化设计

李留臣 ^1, , 陈治明 ^2, , 蒲红斌 ^3, , 封先锋 ^4, , 张群社 ^5,

1.西安理工大学,西安,710048

2.西安理工大学,西安,710048

3.西安理工大学,西安,710048

4.西安理工大学,西安,710048

5.西安理工大学,西安,710048

关键词：真空 , 密封 , 漏气率 , 密封结构

Vacuum System Design of Crystal Growing Equipment

真空系统的应用在现代科研生产领域中起着越来越重要的作用,越来越被人们所重视.真空系统设计的好坏,直接影响着晶体生长设备的成功与否,而提高真空系统的密封性,降低真空系统的漏气率是提高真空性能的主要措施.本文简要阐述了提高真空系统的密封性和降低漏气率的一些措施,包括真空系统设计中的结构设计、密封形式的选择、密封材质的选用等,提出了一种新型的静密封结构,从而提高了真空系统的密封性能.

参考文献

[1]	达道安.真空设计手册[M].北京:国防工业出版社,1991:11.

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