CVD金刚石具有和天然金刚石相近的一系列独特的力学、热学、声学、电学、光学和化学性能,在航空、航天、国防等高科技领域具有广阔的应用前景.但是,普通CVD金刚石膜是绝缘体,无法直接进行电加工.本文在分析了电火花加工半导体材料去除速率的基础上,通过掺硼对CVD金刚石厚膜进行半导体改性,继而实现了其电火花加工.通过研究,建立了掺硼金刚石厚膜电火花加工去除速率的经验公式.最后,通过Raman和SEM分析对CVD金刚石厚膜的电火花加工机理进行了初步探讨.
参考文献
| [1] | Zuo Dunwen;XiangBingkun;Lu Wenzhuang.Diamond Thick Film Prepared by EACVD as Cutting-tool Material[A].,2002:18-23. |
| [2] | 张宏志 .CVD金刚石厚膜焊接刀具的制造和切削性能[J].工具技术,1997,31(06):3-6. |
| [3] | Zuo D W;Li X F;Xu F.Smoothing of thick diamond film prepared by electron-assisted CVD[J].Key Engineering Materials,2004:259-260;507-511. |
| [4] | 刘晋春;赵家齐.特种加工[M].北京:机械工业出版社,1999 |
| [5] | 金庆同.特种加工[M].北京:航空工业出版社,1988 |
| [6] | 丁振良.误差理论与数据处理[M].哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,1987 |
| [7] | 杨小倩,胡晓君,沈荷生,张志明,李荣斌,何贤昶.CVD金刚石薄膜的掺硼研究[J].机械工程材料,2002(01):16-18,28. |
| [8] | 彭文武 .CVD金刚石厚膜高效抛光的基础研究[D].南京航空航天大学,2003. |
| [9] | 褚向前 .EACVD掺硼金刚石膜制备及加工性研究[D].南京航空航天大学,2004. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%