金刚石薄膜残余应力的X射线透射测量法

1.北京科技大学材料学院,北京100083

2.北京科技大学材料学院,北京100083

3.北京科技大学材料学院,北京100083

基金项目: 中国科学院资助项目(50372007)

Measurement of Residual Stress in Diamond Film by X-ray Transmission Method

用X射线衍射透射法测量了不同沉积工艺CVD自支撑金刚石薄膜的残余应力,并对应力测试结果进行初步分析.与常规法相比,透射法直接测量薄膜表面不同方向的正应变,计算出正应力值,不需要复杂的转换计算,测量过程简捷、准确,克服了常规法的不足,有利于推动薄膜残余应力的研究.

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