X射线掠入射法测定金刚石薄膜厚度的研究

物理测试, 2007, 25(4): 8-11. doi: 10.3969/j.issn.1001-0777.2007.04.003

X射线掠入射法测定金刚石薄膜厚度的研究

方建锋 ^1, , 唐伟忠 ^2, , 张晋远 ^3, , 郑毅 ^4,

1.钢铁研究总院粉末冶金研究室,北京,100081

2.北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083

3.钢铁研究总院粉末冶金研究室,北京,100081

4.钢铁研究总院粉末冶金研究室,北京,100081

关键词：掠入射X射线衍射 , 金刚石薄膜 , 厚度测定

Study on Thickness Determination of Diamond Film by Grazing Incidence of X-ray Diffraction

本文研究了用近平行的入射X射线,以掠入射的方式,利用薄膜下基体某一晶面衍射强度随掠入射角的变化关系来测定薄膜厚的方法.导出了基体某一晶面的衍射强度的对数InIr与掠入射角函数f(r)之间的线性关系,发现该直线的斜率即为薄膜的线吸收系数与其厚度的乘积.对WC-Co硬质合金上的金刚石薄膜厚度进行了测定,并对该方法的重复性进行了验证.结果表明,InIr与f(r)之间的具有很好的线性相关性,而且该方法具有较好的精确性.

参考文献

[1]	戴达煌;周克松.金刚石薄膜沉积制备工艺与应用[M].北京:冶金工业出版社,2001
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[5]	姜传海,叶长青,周健威,吴建生.用X射线应力仪无损检测薄膜材料厚度[J].无损检测,2004(02):74-76.
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[8]	刘粤惠;刘平安.X射线衍射分析原理与应用[M].北京:化学工业出版社,2003

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