TiN薄膜腐蚀过程的电化学原子力显微镜原位研究

材料保护, 2001, 34(12): 14-15. doi: 10.3969/j.issn.1001-1560.2001.12.007

TiN薄膜腐蚀过程的电化学原子力显微镜原位研究

俞春福 ^1, , 徐久军 ^2, , 王亮 ^3, , 许晓磊 ^4, , 黑祖昆 ^5,

1.大连海事大学材料工艺研究所,

2.大连海事大学材料工艺研究所,

3.大连海事大学材料工艺研究所,

4.大连海事大学材料工艺研究所,

5.大连海事大学材料工艺研究所,

关键词： TiN薄膜 , 腐蚀 , 电化学原子力显微镜 , 原位观察

In Situ Research of the Early Stages of Corrosion in TiN Thin Films Using the Electrochemical Atomic Force Microscopy

用离子束增强沉积(IBED)技术在1Cr18Ni9不锈钢上制备了TiN薄膜,并用电化学原子力显微镜(ECAFM),从纳米级空间分辨度对其在3%NaCl溶液中的早期腐蚀过程进行了原位研究.结果表明,TiN薄膜在极化电位的阴极区域发生钛氧化物膜的还原溶解;在低阳极极化电位下,发生轻微腐蚀,当阳极极化电位进一步提高,在200～300 mV出现电解抛光现象.可见,电化学原子力显微镜是研究早期腐蚀过程的有效研究手段,可原位观察研究微观腐蚀的过程

参考文献

[1]	冯正.离子镀TiN膜层的抗蚀性研究[J].金属热处理,1994(11):20.
[2]	刘长清.离子镀钛和氮化钛镀层的电化学腐蚀特征[J].材料保护,1992(06):39.
[3]	Baba K;Hatada R .Corrosion-resistant titanium nitride coatings formed on stainless steel by ion-bean-assisted deposition[J].Surface Technology,1994,66:368-374.
[4]	Milosev 1;Navinsek B .A corrosion study of TiN (physical vapour depo sition) hard coatings deposited on various substrates[J].Surfaee and Teehnology,1994(63):173-179.
[5]	姜晓霞;王景韫.合金相电化学[M].上海:上海科学技术出版社,1984
[6]	林昌健.不锈钢点腐蚀发生的早期过程 Ⅱ.电化学扫描隧道显微研究[J].腐蚀科学与防护技术,1997(04):259.

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