溶胶-凝胶法制备LiCl/SiO2-Al2O3纳米复合薄膜的湿敏特性

1.西安交通大学电子材料研究所

2.同济大学功能材料研究所

3.西安交通大学电子材料研究所;同济大学功能材料研究所

Humidity Sensing Property of LiCl/SiO2-Al2O3 Nano-composite Film by Sol-gel Process

采用溶胶-凝胶工艺,将LiCl湿敏组元复合到SiO2-Al2O3玻璃先驱体中,用提拉法镀膜,经过适当的热处理,可以获得具有纳米结构和良好湿敏特性的LiCl/玻璃基薄膜.湿敏特性研究表明该类薄膜制得的传感器可在全湿范围内实现对湿度的测量.

[1]	康昌鹤;唐省吾.气、湿敏传感器件及其应用[M].北京:科学出版社,1988
[2]	孔令兵,张良莹,姚熹.LiCl/SiO2薄膜的制备及湿敏性能[J].硅酸盐学报,1998(04):483-489.
[3]	福格尔;谢于深.玻璃化学[M].北京:中国轻工业出版社,1988

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