BaTiO3薄膜的Sol-gel法制备及其介电特性研究

1.中国科学院新疆物理研究所,乌鲁木齐,830011

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Preparation of Barium Titanate Thin Film by the Sol-gel Technique and Study on Its Dielectric Properties

以钛酸四丁酯和乙酸钡为主要原料,以乙二醇独甲醚为溶剂,采用溶胶凝胶法成功地配制出了BaTiO3溶胶,溶胶清晰稳定,保存时间长.并用XRD分析了沉积在Si(100)低阻硅片上的薄膜的结构,发现薄膜在600℃时结晶状态已良好.文中同时对薄膜的介电性质进行研究,并讨论了退火温度对薄膜介电性质的影响.

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