采用反应磁控溅射法在不同的甲烷分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微结构,用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量,并利用AFM观察了薄膜的生长形貌和压痕形貌,研究了甲烷分压对薄膜相组成、微结构和力学性能的影响.结果表明,甲烷分压对薄膜的相组成、微结构和力学性能均有明显的影响:低的甲烷分压下,制备的薄膜样品中有钛相的存在,薄膜的硬度和弹性模量较低;甲烷分压提高0.02～0.04Pa左右,薄膜内形成晶粒细小的单相TiC,并获得最高的硬度(30.9GPa)和弹性模量(343GPa);进一步提高甲烷分压,薄膜呈现非晶态,其硬度和弹性模量亦随之降低.
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