钛镍合金上制备类金刚石薄膜的性能研究

表面技术 , 2005, 34(2): 30-41. doi: 10.3969/j.issn.1001-3660.2005.02.011

钛镍合金上制备类金刚石薄膜的性能研究

吴玲玲 ^1, , 梁海峰 ^2, , 蔡长龙 ^3, , 徐均琪 ^4, , 杭凌侠 ^5, , 严一心 ^6,

1.西安工业学院光电工程学院,陕西,西安,710032

2.西安工业学院光电工程学院,陕西,西安,710032

3.西安工业学院光电工程学院,陕西,西安,710032

4.西安工业学院光电工程学院,陕西,西安,710032

5.西安工业学院光电工程学院,陕西,西安,710032

6.西安工业学院光电工程学院,陕西,西安,710032

关键词： Ti-Ni合金 , 类金刚石薄膜 , 脉冲电弧

Properties of Diamond-like Carbon Films on Ti-Ni Alloy

Ti-Ni形状记忆合金是目前唯一用作生物医学材料的形状记忆合金.它的主要缺点是不具有生物活性,会对机体造成不利影响.DLC膜以其优异的生物相容性、抗腐蚀性及化学稳定性倍受关注.利用脉冲真空电弧离子镀技术镀制DLC膜改善Ti-Ni合金的表面性能.对DLC膜的表面形貌、显微硬度、摩擦系数、耐磨性能及耐腐蚀性能进行了测试.结果表明:用脉冲真空电弧离子镀技术制备的DLC膜膜层表面形貌较好、硬度高、摩擦系数小、耐磨及耐腐蚀性能良好.

参考文献

[1]	战德松;杨彦昌;周兴泰 .钛表面涂覆类金刚石碳膜的生物相容性研究[J].材料研究学报,1999,4:405-408.
[2]	戴达煌;周克崧.金刚石薄膜沉积制备工艺与应用[M].北京:冶金工业出版社,2001:173-184.
[3]	江河清,张治军,徐洮,刘维民.液相电沉积类金刚石薄膜的研究进展[J].表面技术,2004(02):4-6.
[4]	Jonsson B.Hardness Measurements of Thin Films[J].THIN SOLID FILMS,1984(114):257.
[5]	蔡长龙,王季梅,杭凌侠,严一心,徐均琪.类金刚石薄膜硬度的研究[J].表面技术,2002(03):9-11.

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