借助分子动力学方法对薄膜成核的微观过程和基体形貌进行了模拟分析.当基体形貌的偏斜度Sk为负值时,接触角θ较小,成核率较高;随着Sk的降低,基体的形貌满型增多,沉积粒子参与成团的个数也随之增加,从而成核率也会增加,进而利于薄膜随后的长大、成膜.从理论上证明了不同的基体表面形貌对基体与所形成的薄膜之间的结合强度有很大影响,偏斜度Sk取值在-1~-3时,所生长的薄膜膜基间结合强度高.
参考文献
[1] | Ozawa S.;Heermann DW.;Sasajima Y. .MONTE CARLO SIMULATIONS OF FILM GROWTH[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,1996(2):172-183. |
[2] | 杨烈宇;关文铎;顾卓明.材料表面薄膜技术[M].北京:人民交通出版社,1994:44-47. |
[3] | 郭向云,王建国.纳米微粒生长过程的分子动力学研究[J].燃料化学学报,2001(z1):255-258. |
[4] | Zhou Lanying,Zhou Huanjiang,Yang Jian.ADHESION STRENGTH OF COATING SUBSTRATE AND SURFACE MORPHOLOGY OF PRETREATMENT[J].机械工程学报(英文版),2003(02):217-220,224. |
[5] | Zhang B.;Zhou LY. .EFFECT OF SANDBLASTING ON ADHESION STRENGTH OF DIAMOND COATINGS[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,1997(1/2):21-28. |
[6] | Lanying Zhou .Effect of sandblasting on adhesion strength of diamond coatings[J].American Society of Mechanical Engineers Materials Division,1997,80:279-285. |
[7] | 周兰英 .物理气相沉积TiN薄膜摩擦学性能的研究[D].西安:西安交通大学,1988. |
[8] | 郑伟涛.薄膜材料与薄膜技术[M].北京:化学工业出版社,2003:145-146. |
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