为了得出多孔阳极氧化铝膜的最佳制备工艺,利用正交试验法研究了制备多孔阳极氧化铝膜的影响因素:氧化时间、氧化电压和扩孔时间,分别讨论了各影响因素对阳极氧化铝膜的单独作用;通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪等观测了阳极氧化铝膜的形貌和结构特征,结果表明:氧化膜上的微孔分布均匀,孔径大小基本相同,平均孔径约为150nm,孔密度约为2.5×109个/cm2;得出阳极氧化最佳制备工艺:温度20℃,反应时间120min,反应电压115V,扩孔时间6min.
参考文献
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